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J-GLOBAL ID:200903051232942702
塗布方法及びその装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
逢坂 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992275227
Publication number (International publication number):1994103618
Application date: Sep. 18, 1992
Publication date: Apr. 15, 1994
Summary:
【要約】【構成】 塗布されるべき紫外線硬化樹脂の粘度に相関性のある樹脂温度を検出し、この検出に基いて樹脂の塗布条件を制御する塗布方法とその装置。【効果】 常に所望の樹脂供給量、滴下エリア等を設定でき、塗布厚や塗布エリア等の安定性が向上し、塗布厚が均一となり、液ダレや不必要なエリアへの廻り込みがなくなる。
Claim (excerpt):
基体上に液状物を塗布するに際し、前記液状物の粘度に応じて塗布条件を制御する塗布方法。
IPC (4):
G11B 7/26 531
, B05C 5/00
, B05C 11/08
, B05D 1/40
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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特開昭63-209768
-
特開平3-268418
-
特開平2-268859
-
レジストコート方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-154588
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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