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J-GLOBAL ID：200903051322809602

カラーフィルタ基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法

Inventor：
崔 海龍

About 崔 海龍

, 
斉藤 純一

About 斉藤 純一


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008311949
Publication number (International publication number)：2009271497
Application date： Dec. 08, 2008
Publication date： Nov. 19, 2009
Summary：
【課題】位相差膜を有するカラーフィルタ基板の、位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置および方法を提供する。【解決手段】位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置であって、前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、前記撮像手段が取得した画像データに対して画像処理部で所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理手段と、を有することを特徴とする位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜中の欠陥と位相差上の異物を検出する検査装置であって、 前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、 前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、 前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、 前記撮像手段が取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理手段と、 を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。
IPC (4)：
G02B 5/30 ,  G01N 21/88 ,  G02B 5/20 ,  G01M 11/00
FI (4)：
G02B5/30 ,  G01N21/88 H ,  G02B5/20 101 ,  G01M11/00 T
F-Term (25)：
2G051AA90 ,  2G051AB01 ,  2G051AB04 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G086EE05 ,  2H048BA11 ,  2H048BB10 ,  2H048BB42 ,  2H149AA02 ,  2H149AB26 ,  2H149BA02 ,  2H149DA02 ,  2H149DA12 ,  2H149EA19 ,  2H149FB08 ,  2H149FC08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (11)
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Cited by examiner (6)
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