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J-GLOBAL ID：200903051339054524

スライディングモード非干渉制御を用いた位置および/または力制御装置

Inventor： 島田 明 ,  美多 勉 ,  大立 好伸
Applicant, Patent owner： セイコー精機株式会社
Agent (1)： 椎名 正利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997124933
Publication number (International publication number)：1998301602
Application date： Apr. 28, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ワークが研磨装置と接する研磨面の弾性や摩擦係数が不確かさを持ち、未知の変化をするときでも変化に対応出来るロバストな制御の可能なスライディングモード非干渉制御を用いた位置・力制御装置を提供する。【解決手段】 制御系に存在する干渉項を非干渉化行列の正則条件を基に非干渉化する。そして、リアプノフの安定条件を満足する様に求めた超平面σを設計し、この超平面σに沿って制御量を収束させる。このとき、制御対象の状態量x(t)と出力y(t)を結び付けるC行列に不確かさを生じても、リアプノフの安定条件を常に満足しつつ制御量を収束させることが出来る様にするため、制御系に用いる非線形入力ゲインki (x,t)をリアプノフの安定条件を満たすまでC行列の不確かさがないときの所定値より大きくなる様に設計する。

Claim (excerpt)：

制御系に存在する干渉項を非干渉化行列の正則条件を基に非干渉化する非干渉手段と、該非干渉手段により非干渉化された制御系に対しリアプノフの安定条件を満足する様に求めた超平面に沿って制御量を収束させるスライディングモード制御手段を少なくとも備えるスライディングモード非干渉制御を用いた位置・力制御装置であって、前記超平面は制御対象の状態量と出力を結び付けるC行列に不確かさを生じたときでも制御量が安定して超平面に収束可能なように、制御系に存在する非線形入力ゲインをリアプノフの安定条件を満たすまでC行列の不確かさがないときの所定値より大きくしたことを特徴とするスライディングモード非干渉制御を用いた位置・力制御装置。

IPC (4)：

G05B 13/00 ,  B24B 49/00 ,  G05D 3/12 305 ,  G05D 15/01

FI (4)：

G05B 13/00 A ,  B24B 49/00 ,  G05D 3/12 305 Z ,  G05D 15/01