連続蒸着方法およびその装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高島一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993111935
Publication number (International publication number)：1994322521
Application date： May. 13, 1993
Publication date： Nov. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】均一な組成、特性をもつ蒸着膜を連続的に作製しうる連続蒸着方法およびその装置を提供することである。【構成】蒸着原料を蒸着膜を構成する組成の少なくとも2以上に分けて蒸発させ、かつ分けた蒸着原料を蒸着源の加熱面に対して下から連続的に、あるいは独立かつ連続的に供給することを特徴とする連続蒸着方法。少なくとも1つの加熱源と、蒸着原料を組成別の少なくとも2以上に分けてなる蒸着源とよりなり、かつ組成別の蒸着原料が蒸着源の加熱面に対して下から連続的に、あるいは独立かつ連続的に供給される構成をもち、さらには基材を連続的に走行させる装置を併設することを特徴とする連続蒸着装置。

Claim (excerpt)：

蒸着原料を蒸着膜を構成する組成の少なくとも2以上に分けて蒸発させ、かつ分けた蒸着原料を蒸着源の加熱面に対して下から連続的に供給することを特徴とする連続蒸着方法。

IPC (2)：

C23C 14/06 , C23C 14/24

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-120269
特開昭63-000460
特開昭58-122930

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