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J-GLOBAL ID：200903051545525991

透明導電性酸化チタン膜及びその製造方法

Inventor：
寺田 典裕

About 寺田 典裕


Applicant, Patent owner：
三洋電機株式会社

About 三洋電機株式会社


Agent (1)： 目次 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997029198
Publication number (International publication number)：1998226598
Application date： Feb. 13, 1997
Publication date： Aug. 25, 1998
Summary：
【要約】【課題】 酸化錫膜及びITO膜などの従来の透明導電膜よりも光吸収率を低くすることができ、従って太陽電池に用いた場合にエネルギー変換効率を向上させることが可能な透明導電膜を得る。【解決手段】 酸化チタン膜中に水素を含有させることより、比抵抗を10-2Ω・cm以下にしたことを特徴としている。
Claim (excerpt)：
膜中に水素を含有させることにより、比抵抗を10-2Ω・cm以下にしたことを特徴とする透明導電性酸化チタン膜。
IPC (3)：
C30B 29/16 ,  C01G 23/04 ,  H01B 5/14
FI (3)：
C30B 29/16 ,  C01G 23/04 ,  H01B 5/14 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 太陽電池モジュール
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-107048   Applicant：キヤノン株式会社
  • 光起電力装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-258428   Applicant：三洋電機株式会社
  • 太陽電池モジュール
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-104318   Applicant：キヤノン株式会社
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