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J-GLOBAL ID：200903051566413093

液相レーザーアブレーション装置及びそれを用いた液相レーザーアブレーション方法

Inventor：
東 博純

About 東 博純


Applicant, Patent owner：
株式会社豊田中央研究所

About 株式会社豊田中央研究所


Agent (1)： 長濱 範明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007138949
Publication number (International publication number)：2008290119
Application date： May. 25, 2007
Publication date： Dec. 04, 2008
Summary：
【課題】レーザー照射時に液相中に気泡が発生することを十分に防止することができ、安定したレーザー照射条件でアブレーションを行うことを可能とする液相レーザーアブレーション装置を提供すること。【解決手段】溶媒15中に保持されたターゲット16に対してレーザー光Lを照射して液相中でレーザーアブレーションを行うための液相レーザーアブレーション装置であって、 レーザー光Lを発生させるためのレーザー発振器10と、レーザー光Lを導入するための窓を備える密封容器13と、密封容器13内に配置されるターゲット16と、密封容器13に接続された真空引き装置19と、密封容器13に接続された不活性ガス又は窒素ガスを導入するためのガス導入装置20と、を備えることを特徴とする液相レーザーアブレーション装置。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
溶媒中に保持されたターゲットに対してレーザー光を照射して液相中でレーザーアブレーションを行うための液相レーザーアブレーション装置であって、 レーザー光を発生させるためのレーザー発振器と、 前記レーザー光を導入するための窓を備える密封容器と、 前記密封容器内に配置されるターゲットと、 前記密封容器に接続された真空引き装置と、 前記密封容器に接続された不活性ガス又は窒素ガスを導入するためのガス導入装置と、 を備えることを特徴とする液相レーザーアブレーション装置。
IPC (5)：
B23K 26/12 ,  B01J 19/12 ,  H01S 3/00 ,  B23K 26/14 ,  B23K 26/36
FI (5)：
B23K26/12 ,  B01J19/12 H ,  H01S3/00 B ,  B23K26/14 Z ,  B23K26/36
F-Term (14)：
4E068CJ01 ,  4E068CJ07 ,  4E068CJ09 ,  4G075AA27 ,  4G075BC10 ,  4G075CA36 ,  4G075CA63 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB31 ,  4G075EB33 ,  4G075EB34 ,  4G075FB06 ,  5F172ZZ01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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