アルミニウムエッチング液の取り扱い方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：澤木誠一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996304187
Publication number (International publication number)：1998130871
Application date： Oct. 31, 1996
Publication date： May. 19, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来、アルミニウム-セラミックス複合部材の製造においては、エッチング後におけるスカート幅が大きくなり、寸法不良による歩留低下という欠点があった。【解決手段】本発明のアルミニウムエッチング液の取り扱い方法においては、エッチング処理槽中のアルミニウムエッチング液に過酸化水素を添加して塩化第二鉄溶液のORP値を495以上ならしめる。

Claim (excerpt)：

エッチング処理槽中のアルミニウムエッチング液における塩化第二鉄溶液のORP値を495以上、好ましくは520以上の範囲に維持することを特徴とするアルミニウムエッチング液の取り扱い方法。

IPC (3)：

C23F 1/46 , C23F 1/00 , H01L 21/308

FI (3)：

C23F 1/46 , C23F 1/00 A , H01L 21/308 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

セラミックス電子回路基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-088777 Applicant：同和鉱業株式会社
アルミ電解コンデンサ用陰極箔の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121189 Applicant：松下電器産業株式会社
エッチング処理法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-135841 Applicant：三菱電機株式会社, 旭硝子株式会社

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