固体撮像装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木康夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997323975
Publication number (International publication number)：1999145444
Application date： Nov. 11, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】遮光膜となる金属膜と、金属配線間に生じる寄生容量を低減して撮像感度を向上させる【解決手段】光遮光膜となる金属膜112の開口部を介して入射した光により発生した電子・正孔のうち、電子はフォトゲート102下の空乏層中に蓄積される。次に、リセット用MOSFET104の制御パルスΦRをローレベルとし、制御パルスΦPGにローレベルの電圧を印加すると、フォトゲート102下の電子は転送用MOSFET103下に形成された電位障壁を乗り越えて浮遊拡散層206に転送される。浮遊拡散層206の電位は転送された電子の数に応じて変動し、その電位変化はソースフォロワアンプ105のゲート電極と浮遊拡散層206を接続する金属配線113を介して外部回路に出力される。金属膜112にはソースフォロワアンプ105のソース電位が供給されているので、金属膜112の電位変動は浮遊拡散層206の電位変動とほぼ等しくなり、寄生容量が低減される。

Claim (excerpt)：

光電変換部で発生した電荷を浮遊拡散層部へ転送し、その電位変化を出力するXYアドレス型固体撮像装置において、前記光電変換部以外の領域を遮光する遮光膜の電位を、前記浮遊拡散層部の電位変動に応じて変動させる手段を備えていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4)：

H01L 27/146 , H01L 27/14 , H01L 31/02 , H04N 5/335

FI (4)：

H01L 27/14 A , H04N 5/335 G , H01L 27/14 D , H01L 31/02 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

固体撮像素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-161923 Applicant：三洋電機株式会社

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