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J-GLOBAL ID：200903051671593030

赤外線センサ

Inventor：
久保 竜一

About 久保 竜一


Applicant, Patent owner：
株式会社村田製作所

About 株式会社村田製作所


Agent (1)： 岡田 全啓
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000146655
Publication number (International publication number)：2001330511
Application date： May. 18, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：
【要約】【課題】 出力が大きくて感度の良い赤外線センサを提供する。【解決手段】 基板12と、基板に支持されるダイヤフラム部14と、基板の上に冷接点20が形成されダイヤフラム部の上に温接点18が形成される少なくとも一つの熱電対16と、ダイヤフラム部の上に熱電対の温接点を覆いながら形成される赤外線吸収24を含む赤外線センサであって、赤外線吸収膜の面積を前記ダイヤフラム部の面積の64%から100%にしたことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
基板、前記基板に支持されるダイヤフラム部、前記基板の上に冷接点が形成され前記ダイヤフラム部の上に温接点が形成される少なくとも一つの熱電対、および前記ダイヤフラム部の上に前記熱電対の温接点を覆いながら形成される赤外線吸収膜を含む赤外線センサであって、前記赤外線吸収膜の面積を前記ダイヤフラム部の面積の64%から100%にしたことを特徴とする、赤外線センサ。
IPC (3)：
G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 35/32
FI (3)：
G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 B ,  H01L 35/32 A
F-Term (14)：
2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA32 ,  2G065BA38 ,  2G065BC24 ,  2G065CA13 ,  2G065DA20 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA51 ,  2G066BA55 ,  2G066BB09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
  • 赤外線検知素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-221709   Applicant：日産自動車株式会社
  • 特開平3-189526
  • 特開昭60-046431
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