単結晶サファイア基板及び単結晶サファイアの分割方法及び単結晶サファイア体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996043862
Publication number (International publication number)：1997235197
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】単結晶サファイア基板10を簡単な工程で、高精度に分割し、滑らかな分割面を得る。【解決手段】単結晶サファイア基板10をR面に沿って劈開し、分割する。

Claim (excerpt)：

周囲の一部にR面と平行または垂直な基準面を有する単結晶サファイア基板。

IPC (3)：

C30B 29/20 , B28D 5/00 , H01L 21/301

FI (3)：

C30B 29/20 , B28D 5/00 Z , H01L 21/78 U

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特公昭53-034457
特開昭60-118698
窒化物半導体発光素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-006300 Applicant：日亜化学工業株式会社

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Cited by examiner (7)

特開昭60-118698
特公昭53-034457
半導体発光素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-039443 Applicant：株式会社日立製作所

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