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J-GLOBAL ID:200903051804078745

単結晶の製造方法及び結晶育成るつぼ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997359249
Publication number (International publication number):1999189485
Application date: Dec. 26, 1997
Publication date: Jul. 13, 1999
Summary:
【要約】【課題】切断を必要とせずに、所望の径、所望の厚さの円盤状単結晶を一バッチ操作で複数個製造する方法、このような製造方法に用いる結晶育成るつぼを提供すること。【解決手段】結晶育成るつぼ内には使用状態で水平となる複数の隔壁が設けられて内部空間が円盤状である複数の結晶育成室が形成されており、各々の隔壁には貫通小孔が設けられており、且つ育成単結晶の取り出しができるように組立、分解が可能である、複数の円盤状単結晶を製造するための結晶育成るつぼ、及びこのような結晶育成るつぼの各々の結晶育成室に原料を充填し、垂直ブリッジマン法により結晶を育成し、その後結晶育成るつぼを分解して複数の円盤状単結晶を得る、単結晶の製造方法。
Claim (excerpt):
貫通小孔により連通しており且つ内部空間が円盤状である複数の結晶育成室を有し、育成単結晶の取り出しができるように組立、分解が可能である結晶育成るつぼの各々の結晶育成室に原料を充填し、垂直ブリッジマン法により結晶を育成し、その後結晶育成るつぼを分解して複数の円盤状単結晶を得ることを特徴とする単結晶の製造方法。
IPC (2):
C30B 11/00 ,  H01L 21/208
FI (2):
C30B 11/00 C ,  H01L 21/208 T
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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