フッ化物結晶の製造装置及び製造法並びにルツボ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福森久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998063952
Publication number (International publication number)：1998330192
Application date： Feb. 27, 1998
Publication date： Dec. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】本発明は、結晶中に残留する不純物やスカベンジャー等を効率良く除去し、透過率の高いフッ化物結晶を製造し得るフッ化物結晶の製造装置及び製造法並びに成長用のルツボを提供することを目的とする。【解決手段】原料にスカベンジャーを添加し、原料精製を行なう工程において、原料精製に用いるルツボを複数に分割し多段にしたことを特徴とする。また、記ルツボの側壁部にガス抜き穴を設けたことを特徴とする。また、本発明のルツボは、側壁部にガス抜き穴を少なくとも2以上有することを特徴とする。また、底面中心部に接続穴を有するルツボであって、側壁部にガス抜き穴を少なくとも2以上有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

原料にスカベンジャーを添加し、原料精製を行なう工程において、原料精製に用いるルツボを複数に分割し多段にしたことを特徴とするフッ化物結晶の製造装置。

IPC (3)：

C30B 29/12 , C30B 11/00 , G02B 1/02

FI (3)：

C30B 29/12 , C30B 11/00 C , G02B 1/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

シリコン単結晶引上げ用石英ルツボとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-283983 Applicant：三菱マテリアルクォーツ株式会社
フッ化カルシウム結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-136515 Applicant：株式会社ニコン, 応用光研工業株式会社

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