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J-GLOBAL ID：200903052020165044
クリーンブース、およびクリーンブースのクリーン度調整方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
落合 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005093166
Publication number (International publication number)：2006275349
Application date： Mar. 28, 2005
Publication date： Oct. 12, 2006
Summary：
【課題】 簡易な構成でブース内エアーのクリーン度を調整することができるクリーンブース等を提供することを課題とする。【解決手段】 天井部12に設けたファンフィルタユニット20と、少なくとも側壁14,15の一部を構成するカーテン30と、カーテン30を、上げ下げ自在に開閉させる昇降手段40と、昇降手段40を制御し、カーテン30により構成される開口部33の開口面積を調整して、ブース2内エアーのクリーン度を調整する制御手段と、を備えた。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
天井部に設けた吸気ファンおよびフィルタと、
少なくとも側壁の一部を構成するカーテンと、
前記カーテンを、上げ下げ自在に開閉させる昇降手段と、
前記昇降手段を制御し、前記カーテンにより構成される開口部の開口面積を調整して、ブース内エアーのクリーン度を調整する制御手段と、
を備えたことを特徴とするクリーンブース。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
Patent cited by the Patent：
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