熱処理装置

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：井上俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993166471
Publication number (International publication number)：1994349759
Application date： Jun. 11, 1993
Publication date： Dec. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】被処理体の熱処理後に熱処理炉の蓋体を開くにあたってパーティクルの発生及び大気の侵入を抑えること。【構成】熱処理炉内の圧力が所定値のときに出力信号を発する圧力検出部と、バルブV1及び逆止弁51を備えた大気開放管5と、バルブV2により熱処理炉内から遮断される差圧計62と、バルブV3を備えた通気管6とを用い、大気開放管5及び通気管6の一端を熱処理炉に接続し、他端を大気に開放する。処理ガスを真空排気した後熱処理炉内を不活性ガスで置換し、大気圧付近になったときに圧力検出部の出力信号によりバルブV1を開いて熱処理炉内を大気圧より若干高い圧力とし、例えば差圧計の差圧検出値が設定値以下のときにバルブV3を開いて熱処理炉内を通気管6を通して大気に開放し、その後蓋体72を開く。

Claim (excerpt)：

多数の被処理体を保持具に保持させて熱処理炉内に搬入し、被処理体の熱処理後に不活性ガスを熱処理炉内に導入して熱処理炉内の圧力が大気圧付近になったときに蓋体を開いて前記保持具を搬出する熱処理装置において、前記熱処理炉内の圧力が大気圧付近の設定圧力を越えたときに出力信号を発する圧力検出部と、一端が熱処理炉に接続されると共に他端が大気に開放され、前記圧力検出部の出力信号にもとづいて開かれるバルブV1、及び大気側から熱処理炉内へ向かうガスの流れを阻止するための逆止弁を備えた大気開放管と、前記熱処理炉内に対してバルブV2により遮断される領域に設けられ、熱処理炉内の圧力と大気圧との差圧を検出するための差圧検出部と、前記圧力検出部の出力信号にもとづいて前記バルブV1、及びV2を開き、前記差圧検出部の差圧検出値が設定値以下になったときに蓋体を開くように制御する制御部と、を有してなることを特徴とする熱処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/22 , H01L 21/205 , H01L 21/324

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

縦型CVD・拡散装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-207429 Applicant：国際電気株式会社
縦型拡散・CVD装置のガス給排方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-027465 Applicant：国際電気株式会社

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