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J-GLOBAL ID：200903052272221214

表面画像投影装置及び方法

Inventor： 黒沢 俊郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999096466
Publication number (International publication number)：2000294608
Application date： Apr. 02, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】 フォーカスの振動がなく、所望の層に安定してフォーカス合わせができる表面画像投影装置及び方法の実現。【解決手段】 板状物体1 の表面の一部を投影する投影手段21,53,56を、板状物体の表面に沿って相対移動させ、各位置での投影画像を合わせて板状物体の表面全体の画像を得る表面画像投影装置であって、板状物体の表面の複数箇所の高さを測定する表面高さ検出手段31〜37と、測定した複数箇所の高さから板状物体の表面形状を演算して記憶する表面形状データ記憶手段39と、投影手段の板状物体の表面に対するフォーカス状態を変化させる焦点調整手段10と、投影手段を板状物体の表面に沿って相対移動させる時に、表面形状データ記憶手段に記憶された板状物体の表面形状に応じて焦点調整手段10を制御するフォーカス制御手段12とを備える。

Claim (excerpt)：

板状物体の表面の一部を投影する投影手段を、前記板状物体の表面に沿って相対移動させ、各位置での投影画像を合わせて前記板状物体の表面全体の画像を得る表面画像投影装置であって、前記板状物体の表面の複数箇所の高さを測定する表面高さ検出手段と、測定した前記複数箇所の高さから前記板状物体の表面形状を演算して記憶する表面形状データ記憶手段と、前記投影手段の前記板状物体の表面に対するフォーカス状態を変化させる焦点調整手段と、前記投影手段を前記板状物体の表面に沿って相対移動させる時に、前記表面形状データ記憶手段に記憶された前記板状物体の表面形状に応じて前記焦点調整手段を制御するフォーカス制御手段とを備えることを特徴とする表面画像投影装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G02B 7/28

FI (2)：

H01L 21/66 J ,  G02B 7/11 H

F-Term (19)：

2H051AA10 ,  2H051AA11 ,  2H051AA15 ,  2H051BA32 ,  2H051BA37 ,  2H051CB20 ,  2H051CB22 ,  2H051GB12 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB18 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 領域の検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-138276   Applicant：株式会社ディスコ