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J-GLOBAL ID:200903052294986699

FET等価回路モデル・パラメータの決定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001047656
Publication number (International publication number):2001318118
Application date: Feb. 23, 2001
Publication date: Nov. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】固有及び寄生成分を一意に抽出する。【解決手段】FETモデル開発の際、等価回路のパラメータの集合を生成するため、デバイスに関連するS-パラメータ値集合を測定し、回路モデルを生成する(102〜108)。次いで回路モデルに対して試行インピーダンス点Rsを規定し(110)、該点毎に、モデルS-パラメータ値を抽出し(112)、抽出されたモデル・パラメータからモデル化S-パラメータを計算し(114)、測定S-パラメータと比較する(118)。そして、試行インピーダンス点毎に、モデル化S-パラメータ値を最適化し(122)、最適化S-パラメータ値と測定S-パラメータ値との間の誤差度を計算し(124)、誤差度が最小となった試行インピーダンス点及びモデル・パラメータ点を選択する(126)ことによって、FETデバイスに関する等価回路パラメータの集合を決定する。
Claim (excerpt):
FETデバイスに関する等価回路パラメータの集合を生成する方法であって、FETデバイスに関連するS-パラメータ値集合を測定するステップと、FETデバイスの回路モデルを生成するステップと、FET回路モデルに対して試行インピーダンス点を規定するステップと、FET回路モデルに対する各試行インピーダンス点毎に、モデルS-パラメータ値を抽出するステップと、各試行インピーダンス点毎の回路モデルに対する抽出されたモデル・パラメータから、モデル化S-パラメータを計算するステップと、各試行インピーダンス点毎に、モデル化S-パラメータを測定S-パラメータと比較するステップと、各試行インピーダンス点毎に、モデル化S-パラメータ値を最適化するステップと、各試行インピーダンス点毎に、最適化S-パラメータ値と測定S-パラメータ値との間の誤差度を計算するステップと、誤差度が最小となった試行インピーダンス点及びモデル・パラメータ点を選択することによって、FETデバイスに関する等価回路パラメータの集合を決定するステップとからなることを特徴とする方法。
IPC (3):
G01R 31/26 ,  H01L 29/00 ,  G06F 17/50 662
FI (3):
G01R 31/26 B ,  H01L 29/00 ,  G06F 17/50 662 G
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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