外力検出装置およびその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：広瀬和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996298030
Publication number (International publication number)：1998122869
Application date： Oct. 22, 1996
Publication date： May. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】外力を検出するための検出部が収容された密閉室内の酸素を簡単な構成によって除去することにより、密閉室内を十分に減圧させ、検出部の検出感度を向上させる。【解決手段】ガラス基板5の凹陥部5B底部にモリブデンからなる酸素吸収用金属膜32を蒸着して設け、シリコン基板2とガラス基板5との陽極接合時に発生し、密閉室6内に残留した酸素ガスを、該酸素吸収用金属膜32により吸収する。これにより、密閉室6内を十分に減圧させ、角速度検出部3による角速度の検出感度を向上させる。

Claim (excerpt)：

シリコン基板と、該シリコン基板に陽極接合して設けられたガラス基板と、前記シリコン基板と該ガラス基板との間に形成された密閉室と、該密閉室内に収容され外力が作用したときの変位を検出する検出部とからなる外力検出装置において、前記密閉室内に位置して前記ガラス基板と前記シリコン基板のうち少なくともいずれか一方の基板の表面に酸素吸収用金属膜を設け、前記密閉室内の酸素を該酸素吸収用金属膜によって吸収する構成としたことを特徴とする外力検出装置。

IPC (4)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (4)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , G01P 15/125 , H01L 29/84 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-046577 Applicant：株式会社村田製作所
集積化ゲッタを有するフラット・パネル・ディスプレイ用の陽極板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-177920 Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-035141 Applicant：株式会社東芝

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