角速度センサ

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：広瀬和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995046577
Publication number (International publication number)：1996219795
Application date： Feb. 10, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】角速度センサの振動板と基板との間に微小隙間を確保する突起部を設け、製造時における固着を防止する。【構成】基板32上に振動板7が位置する部分に複数個の突起部34,34,...を形成する。振動板7は各振動発生部11によって矢示A1 ,A2 方向に交互に振動し、このときY軸回りの角速度が生じると、コリオリ力によって振動板7は矢示F1 ,F2 方向に振動する。そして、この変位により角速度を検出する。また、各突起部34によって基板32と振動板7との間には微小隙間が常に確保でき、製造時における乾燥工程では、振動板7と基板32との間が密着して固着するのを防止できる。

Claim (excerpt)：

基板と、該基板に支持梁を介して支持され、該基板に対して水平方向と垂直方向に振動可能に設けられた振動板と、該振動板を前記基板に対し水平方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動板に水平方向に振動を与えている状態で、コリオリ力による該振動板の垂直方向への変位を検出する変位検出手段とからなる角速度センサにおいて、互いに対向する前記基板と前記振動板との間には、少なくとも一方から他方に向けて突出し、該基板と振動板との間に微小隙間を確保する突起部を形成したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

加速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-163158 Applicant：株式会社村田製作所
トランスジューサ、これを利用したマイクロセンサ、車両制御システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-004251 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-116465

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