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J-GLOBAL ID：200903052533925230

透明導電膜の製造方法および透明導電膜

Inventor：
福田 和浩

About 福田 和浩


Applicant, Patent owner：
コニカ株式会社

About コニカ株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999110800
Publication number (International publication number)：2000303175
Application date： Apr. 19, 1999
Publication date： Oct. 31, 2000
Summary：
【要約】【課題】 導電性、生産性に優れた透明導電膜の製造方法およびその製造方法によって形成された透明導電膜を提供する。【解決手段】 反応性ガスの存在下プラズマ放電を行う処理系に、被処理体をさらすことにより、前記被処理体上に透明導電膜を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。
Claim (excerpt)：
反応性ガスの存在下プラズマ放電を行う処理系に、被処理体をさらすことにより、前記被処理体上に透明導電膜を形成することを特徴とする透明導電膜の製造方法。
IPC (4)：
C23C 16/40 ,  C08J 7/00 ,  G03C 1/85 ,  H01B 5/14
FI (4)：
C23C 16/40 ,  C08J 7/00 Z ,  G03C 1/85 ,  H01B 5/14
F-Term (38)：
2H023FC00 ,  2H023FC10 ,  4F073AA04 ,  4F073BA03 ,  4F073BA06 ,  4F073BA19 ,  4F073BA23 ,  4F073BA26 ,  4F073BA31 ,  4F073CA01 ,  4F073CA62 ,  4F073CA64 ,  4F073CA65 ,  4F073CA68 ,  4F073CA70 ,  4F073HA03 ,  4F073HA12 ,  4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030AA16 ,  4K030AA24 ,  4K030BA11 ,  4K030BA42 ,  4K030BA45 ,  4K030BA47 ,  4K030CA07 ,  4K030EA01 ,  4K030FA03 ,  4K030JA09 ,  4K030JA11 ,  4K030JA14 ,  4K030JA18 ,  4K030KA46 ,  4K030LA01 ,  4K030LA18 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
  • 特開昭60-138073
  • 特開昭62-260065
  • 特開昭62-089873
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