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J-GLOBAL ID:200903052546919558
フッ素系界面活性剤及びそれを使用した組成物
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
高橋 勝利
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997033717
Publication number (International publication number):1998230154
Application date: Feb. 18, 1997
Publication date: Sep. 02, 1998
Summary:
【要約】【課題】消泡性、リコート性、現像等の後加工性を実用レベルにまで引き上げ、さらに高速、高剪断力を伴う過酷な塗工方法に対しても優れたレベリング性を有するフッ素系界面活性剤及びその組成物を提供する。【解決手段】フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体(A)と短鎖のシリコーン鎖、好ましくは短鎖の分岐構造を有するエチレン性不飽和単量体(B)とを必須構成単位として重合せしめた共重合体からなるフッ素系界面活性剤及びそれを使用した組成物に関する。
Claim (excerpt):
フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体(A)と式(1)で表されるシリコーン鎖を有するエチレン性不飽和単量体(B)とを必須構成単位として重合せしめた共重合体からなるフッ素系界面活性剤。【化1】[式中、R2、R3は炭素数1〜20のアルキル基、フェニル基、若しくは式(2)で表される官能基を示し、【化2】(式中、R7、R8、R9は炭素数1〜20のアルキル基又はフェニル基を示す)、R4、R5、R6は炭素数1〜20のアルキル基又はフェニル基を示し、pは0〜3の整数を示す。]
IPC (4):
B01F 17/54
, C08F220/22
, C08F230/08
, C08F290/06
FI (4):
B01F 17/54
, C08F220/22
, C08F230/08
, C08F290/06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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特開平2-145665
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特開昭60-190408
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特開平3-030825
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特開平4-222805
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フォトレジスト組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-196882
Applicant:三菱化学株式会社
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特開平2-145665
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特開昭60-190408
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特開平3-030825
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特開平4-222805
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