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J-GLOBAL ID：200903052690146865

磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体の製造に用いられる連結装置

Inventor： 高屋 繁明
Applicant, Patent owner： 富士電機デバイステクノロジー株式会社
Agent (1)： 松本 洋一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008017476
Publication number (International publication number)：2009181605
Application date： Jan. 29, 2008
Publication date： Aug. 13, 2009
Summary：

【課題】1つの真空成膜装置では、チャンバー数が足りずに、より多層化された磁気記録媒体を製造することが困難である真空成膜装置を、連結することにより、製造を可能とする磁気記録媒体の製造方法および、連結するための連結装置を提供する。【解決手段】ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システム302を具備した連結装置301にて、複数の真空成膜装置101,201を連結してなる成膜装置を用いる。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

ディスク状の磁気記録媒体の製造方法において、枚葉搬送システムを具備した連結装置にて、複数の真空成膜装置を連結してなる成膜装置を用いることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (4)：

G11B 5/851 ,  G11B 5/85 ,  G11B 7/26 ,  C23C 14/56

FI (4)：

G11B5/851 ,  G11B5/85 A ,  G11B7/26 531 ,  C23C14/56 G

F-Term (10)：

4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029KA01 ,  5D112AA24 ,  5D112FA02 ,  5D112FA04 ,  5D112FA09 ,  5D112FB21 ,  5D121EE01 ,  5D121EE19

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特許第2699045号公報
  
• ディスク被覆システム
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2006-500986   Applicant：インテバック・インコーポレイテッド