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J-GLOBAL ID：200903052757156364

熱型赤外線検出器

Inventor：
小田 直樹

About 小田 直樹


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 宮本 恵司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000259796
Publication number (International publication number)：2002071452
Application date： Aug. 29, 2000
Publication date： Mar. 08, 2002
Summary：
【要約】【課題】ペルチェ素子のような温度制御器を用いることなく、環境温度や検出器内の素子の自己発熱等に起因する検出器出力のドリフトを抑制することができ、更に、開口率を増加させて感度を上げることができる熱型赤外線検出器の提供。【解決手段】アレイを構成する各々の画素に、第1の温度検出部5aと第2の温度検出部5bとを設け、双方の温度検出部5a、5bが基板から熱的に分離するようにボロメータ薄膜7を梁6で浮かせて形成し、第1の温度検出部5aには、その端部から梁6及び第2の温度検出部5bに触れないように両外側に向かって延びる庇4を設け、第2の温度検出部5b上層には赤外線反射膜12を形成し、庇4と赤外線反射膜12の熱容量を略等しくすることにより、双方の温度検出部5a、5bにおける環境温度及び自己発熱による温度変化の影響をキャンセルし、第1の温度検出部5a又は庇4に入射した赤外線による信号のみを取り出す。
Claim (excerpt)：
感熱抵抗体で赤外線を検出する熱型赤外線検出器において、第1の温度検出部と第2の温度検出部とを有し、前記第1の温度検出部には、基板から熱的に分離された第1の感熱抵抗体が配設され、前記第2の温度検出部には、前記基板から熱的に分離された第2の感熱抵抗体が前記第1の感熱抵抗体と略同一形状で配設されると共に、前記第2の感熱抵抗体に入射する赤外線を遮断する手段を備えたことを特徴とする熱型赤外線検出器。
IPC (4)：
G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33
FI (4)：
G01J 1/02 C ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K
F-Term (22)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA34 ,  2G065BC05 ,  2G065CA21 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA01 ,  4M118CB05 ,  4M118CB06 ,  4M118CB07 ,  4M118CB20 ,  4M118GD20 ,  5C024AX06 ,  5C024CY47 ,  5C024GX08 ,  5C024GX19 ,  5C024HX01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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