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J-GLOBAL ID:200903052769633893
付加図形付きフォトマスクの欠陥検査方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
金山 聡
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001318502
Publication number (International publication number):2003121983
Application date: Oct. 16, 2001
Publication date: Apr. 23, 2003
Summary:
【要約】【課題】 検査効率の良い付加図形付きフォトマスクの欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 (a)付加図形付きフォトマスク作製用のフォトマスクパタンデータを用いて、所定の検出感度で、作製された付加図形付きのフォトマスクを検査して、欠陥部を検出し、各欠陥の位置座標を得る欠陥検査ステップと、(b)検出された各欠陥が付加図形存在領域にあるか否かを弁別するための弁別用データを、フォトマスクイメージとして配置して用意する弁別用データ準備ステップと、(c)弁別用データ準備ステップにて用意された弁別用データと、欠陥検査ステップにて検出された各欠陥の位置座標とを、個々付き合せ、各欠陥が付加図形存在領域にあるか否かを弁別する欠陥存在領域弁別ステップと、(d)弁別された欠陥を、それぞれのスペックにて判定する判定ステップとを、備えている。
Claim (excerpt):
図形密度を均一化するための付加図形を複数設けた付加図形付きのフォトマスクの欠陥検査方法であって、(a)付加図形付きフォトマスク作製用のフォトマスクパタンデータを用いて、所定の検出感度で、作製された付加図形付きのフォトマスクを検査して、欠陥部を検出し、各欠陥の位置座標を得る欠陥検査ステップと、(b)検出された各欠陥が付加図形存在領域にあるか否かを弁別するための弁別用データを、フォトマスクイメージとして配置して用意する弁別用データ準備ステップと、(c)弁別用データ準備ステップにて用意された弁別用データと、欠陥検査ステップにて検出された各欠陥の位置座標とを、個々付き合せ、各欠陥が付加図形存在領域にあるか否かを弁別する欠陥存在領域弁別ステップと、(d)弁別された欠陥を、それぞれのスペックにて判定する判定ステップとを、備えていることを特徴とする付加図形付きフォトマスクの欠陥検査方法。
IPC (4):
G03F 1/08
, G01B 11/30
, G01N 21/956
, H01L 21/027
FI (4):
G03F 1/08 S
, G01B 11/30 Z
, G01N 21/956 A
, H01L 21/30 502 P
F-Term (20):
2F065AA01
, 2F065AA20
, 2F065AA49
, 2F065AA56
, 2F065BB02
, 2F065CC18
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF61
, 2F065QQ06
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 2F065RR05
, 2F065TT08
, 2F065UU05
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051AC21
, 2G051EB09
, 2H095BD04
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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