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J-GLOBAL ID：200903052770076647

マイクロミラー装置及びこれを用いた光ディスク装置並びにマイクロミラー装置の製造方法

Inventor： 原 昌輝 ,  堀 和仁 ,  井戸 浩登 ,  小島 直人 ,  羽根 一博
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999375337
Publication number (International publication number)：2001188187
Application date： Dec. 28, 1999
Publication date： Jul. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ミラー部の回動に対するヒンジ部の強度を確保してヒンジ部の破損を有効に抑制すると共に、製造工程に多様性を持たせ、ヒンジ部を微細に且つ精密に成形することを可能とし、更に短時間で簡便に製造することを可能にする。【解決手段】 枠体11及びミラー部12のミラー基板を構成する材料とは異なる、例えばSiNX等の材料でヒンジ部13を構成する。

Claim (excerpt)：

単一基板材料から作製された枠体とミラー基板とを備え、上記ミラー基板上にミラー面が形成されてなるミラー部がヒンジ部を介して上記枠体に連結されることにより、上記ミラー部が上記枠体に対して変位可能に支持されてなるマイクロミラー装置において、上記ヒンジ部が上記枠体及びミラー基板と異なる材料よりなることを特徴とするマイクロミラー装置。

IPC (4)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/135

FI (4)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  G11B 7/09 E ,  G11B 7/135 A

F-Term (16)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  5D118AA06 ,  5D118BA01 ,  5D118CA13 ,  5D118DC07 ,  5D118EA00 ,  5D118FA13 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119JA52 ,  5D119JC06 ,  5D119NA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光スキャナー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-239665   Applicant：キヤノン株式会社