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J-GLOBAL ID：200903052815263117

共振器を用いて複素誘電率を測定する方法および前記方法を実施する装置

Inventor：
田辺 英二

About 田辺 英二


Applicant, Patent owner：
株式会社エー・イー・ティー・ジャパン

About 株式会社エー・イー・ティー・ジャパン


Agent (1)： 井ノ口 壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002204144
Publication number (International publication number)：2004045262
Application date： Jul. 12, 2002
Publication date： Feb. 12, 2004
Summary：
【課題】測定する試料を破壊することなく、試料の材料部材の局所的な部分の複素誘電率も測定できる方法および装置を提供することにある。【解決手段】局所部分の複素誘電率のデータをもとに、広い周波数領域における材料の誘電率の分布状態を求められることにより、部材の均一性の検討、すなわち、製造上の品質改善に役だてることができる。また周波数の1GHz から100GHz のマイクロ波に対する複素誘電体の誘電率を求められる測定装置を提供する。また開口部のきわめて小さいプローブ構造により、薄膜の膜厚の測定にも応用できる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
共振周波数の波長よりも十分に小さい開口部を備える共振器を準備するステップと、 前記開口部から放射する指数関数的に減衰するエバネセント波を発生させるステップと、 前記開口部に共振器の動作が摂動理論を満足する条件のもとに試料を外側から負荷するステップと、 前記開口部に試料を負荷しないときのQ特性のデータと試料を負荷したときのQ特性のデータの偏差(QのシフトΔQ,周波数シフトΔf)を求める測定ステップと、 Q特性のデータ偏差が複素誘電率(ε=ε’+jε”)の下記の既知の関数であることから 数値計算で解いて前記試料の複素誘電率を算出するステップと、 からなる共振器を用いて複素誘電率を測定する方法。 記 ΔQ(Qのシフト)=g(ε’,ε”) Δf(周波数シフト)=f(ε’,ε”)
IPC (2)：
G01R27/26 ,  G01N22/00
FI (5)：
G01R27/26 H ,  G01N22/00 F ,  G01N22/00 T ,  G01N22/00 V ,  G01N22/00 Y
F-Term (20)：
2G028AA01 ,  2G028BB05 ,  2G028BB11 ,  2G028BC02 ,  2G028BC04 ,  2G028BC05 ,  2G028BC07 ,  2G028BF07 ,  2G028CG09 ,  2G028CG13 ,  2G028CG14 ,  2G028CG15 ,  2G028DH11 ,  2G028DH15 ,  2G028EJ01 ,  2G028GL03 ,  2G028GL07 ,  2G028HM05 ,  2G028LR02 ,  2G028MS02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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