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J-GLOBAL ID:200903052869300824
角速度センサ及びその使用方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
足立 勉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995168724
Publication number (International publication number):1996152328
Application date: Nov. 28, 1994
Publication date: Jun. 11, 1996
Summary:
【要約】【課題】 ECUBox等の水平に配置される薄型の筐体への搭載が容易で、更に複数の測定軸にも容易に対応できる角速度センサ及びその使用方法を提供すること。【解決手段】 角速度センサは、圧電体からなる振動子1と、その上下表面(1面及び2面)に配置された電極3〜8とから構成されている。この角速度センサは、固定端10にて支持部材11に支持されて、例えば電子制御装置を収納する筐体の基板12等に平行に配置されている。電極3〜8として、1面側には、駆動電極3,4、振動モニターを兼ねる自励発振用のフィードバック電極5,6、検出電極7が設けられ、2面側には、GND電極8が設けられている。支持部材11は、略コの字形の部材であり、その上部の凹部に振動子1の固定端10が嵌合されている。
Claim (excerpt):
振動子と、該振動子の中心軸方向と直交する方向に、該振動子をたわみ振動させる駆動手段と、前記振動子の前記中心軸方向における伸縮振動を検出する検出手段と、を備えたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2):
Patent cited by the Patent: