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J-GLOBAL ID:200903052975919744

非線形光学薄膜およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 滝本 智之 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995118183
Publication number (International publication number):1996313946
Application date: May. 17, 1995
Publication date: Nov. 29, 1996
Summary:
【要約】【目的】 複合微粒子による大きな3次の非線形光学材料を提供する。【構成】 CdS、Ag、SiO2ターゲットを用いて、アルゴンガス雰囲気中、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて各ターゲットの印加電力、蒸着時間を制御しながら石英基板上に蒸着を行なう。Agの薄膜2を蒸着し、次にCdS微粒子1を形成し、さらにAgの薄膜2を蒸着しCdS微粒子/Ag層からなる複合微粒子を形成した後、SiO2層3を蒸着した積層構造を30層積層する。
Claim (excerpt):
半導体微粒子が金属層により被覆された構造を有し3次非線形光学効果を示す複合微粒子層と、前記複合微粒子層の光吸収波長域に光吸収のないガラスまたはセラミックスからなる層とを交互に基板上に積層した非線形光学薄膜。
IPC (2):
G02F 1/35 503 ,  G02F 1/35 505
FI (2):
G02F 1/35 503 ,  G02F 1/35 505
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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