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J-GLOBAL ID:200903052979030873
ワークピースを保持する単極静電チャック及び装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中村 稔 (外6名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997117687
Publication number (International publication number):1998098093
Application date: May. 08, 1997
Publication date: Apr. 14, 1998
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 導電性基部と、その上に堆積された絶縁層とを備えた単極静電チャックを提供する。【解決手段】 導電性材料から構成されるウェハ離間用マスク102が、絶縁層の頂面上に堆積される。ウェハ離間用マスクは、前記絶縁層に関して離間した関係でワークピースを支持する複数の支持部材120を備える。前記複数の支持部材の少なくとも1つの支持部材が、電源112に接続するように構成されている。チャック電圧電源が、導電性台座基部とウェハ支持マスクの間に接続される。このようにして、ワークピースは、プラズマがウェハに近接して生成されない状態でも、チャック上に引き付けられ、その上で保持される。
Claim (excerpt):
ワークピースを保持する単極静電チャックであって、表面を有するチャック体と、前記チャック体の前記表面上にある導電性材料のウェハ離間用マスクとを備え、前記ウェハ離間用マスクが、電源に接続するように構成されていることを特徴とする単極静電チャック。
IPC (3):
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
FI (3):
H01L 21/68 R
, B23Q 3/15
, H02N 13/00 D
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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静電吸着力除去方法および静電吸着装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-235956
Applicant:株式会社日立製作所
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特開昭62-287950
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特開平4-367246
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特開昭60-261377
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静電チャック及びこの静電チャックを用いた被吸着体の処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-298388
Applicant:東陶機器株式会社, 日電アネルバ株式会社
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特開昭62-287950
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特開平4-367246
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特開昭60-261377
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