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J-GLOBAL ID：200903052986932491

有機ELディスプレイ及びその製造方法

Inventor：
大下 勇

About 大下 勇

, 
渡辺 輝一

About 渡辺 輝一


Applicant, Patent owner：
東北パイオニア株式会社

About 東北パイオニア株式会社


Agent (1)： 小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001004640
Publication number (International publication number)：2002208484
Application date： Jan. 12, 2001
Publication date： Jul. 26, 2002
Summary：
【要約】【目的】 有機EL薄膜,陰極薄膜の堆積時に透明基板11に対するメタルマスク19の接触を防止し、発光特性に優れた有機ELディスプレイを得る。【構成】 透明基板11の上に層間絶縁膜12を介してITO膜13及びTFT層14を設けた後、層間絶縁膜12の上にマスク支持層18を設け、マスク支持層18で支持するように所定パターンのメタルマスク19を透明基板11に重合せる。そして、メタルマスク19の開口部を介してITO膜13上に有機EL薄膜16及び陰極薄膜17を堆積する。
Claim (excerpt)：
透明基板上に層間絶縁膜を介して設けられたITO膜と、隣り合うITO膜の間に設けられた絶縁膜と、ITO膜に堆積された有機EL薄膜及び陰極薄膜を備え、有機EL薄膜及び陰極薄膜を形成する際に使用したメタルマスクと透明基板の画素部との接触を防止する絶縁性のマスク支持層が前記絶縁膜の一部又は全部になっていることを特徴とする有機ELディスプレイ。
IPC (7)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  C23C 16/04 ,  G09F 9/00 338 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22
FI (7)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  C23C 16/04 ,  G09F 9/00 338 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 Z
F-Term (25)：
3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K030BA61 ,  4K030DA05 ,  4K030LA18 ,  5G435AA01 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH14 ,  5G435HH18 ,  5G435KK05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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