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J-GLOBAL ID：200903053045001999

パターン欠陥検査装置

Inventor：
渡貫 明男

About 渡貫 明男


Applicant, Patent owner：
株式会社日立国際電気

About 株式会社日立国際電気


Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003022442
Publication number (International publication number)：2004233213
Application date： Jan. 30, 2003
Publication date： Aug. 19, 2004
Summary：
【課題】スクリーン原版の伸縮により発生した印刷ずれが検出できるパターン欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】基準間隔Lに設定した基準カメラ1と比較カメラ2により検査対象のガラス基板Bを撮像し、基準カメラ1による画像と比較カメラ2による画像の相関から、マスク版の伸縮による印刷ずれを検出するようにしたもの。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
同一ピッチで平行に並んだ複数本の細条からなるパターンが形成されている基板を対象としたパターン欠陥検査装置において、 前記基板の前記パターンの一部を撮像する第1のカメラと、 この第1のカメラから、前記基板の前記複数本の細条が並んでいる方向に沿って所定の基準間隔を隔てて設置され、前記基板の前記パターンの一部とは異なった他の一部を撮像する第2のカメラと、 前記第1のカメラで撮像した第1の画像と前記第2のカメラで撮像した第2の画像の相関を演算する画像処理部とを設け、 前記第1の画像と前記第2の画像の相関値に基づいて前記パターンの欠陥を検査するように構成したことを特徴とするパターン欠陥検査装置。
IPC (5)：
G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G01N21/88 ,  H01J9/42 ,  H01J11/02
FI (5)：
G01N21/956 Z ,  G01B11/30 A ,  G01N21/88 J ,  H01J9/42 A ,  H01J11/02 B
F-Term (25)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC25 ,  2F065FF41 ,  2F065GG17 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR06 ,  2G051AA90 ,  2G051AB11 ,  2G051BA05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB10 ,  2G051EC06 ,  5C012AA09 ,  5C012BE03 ,  5C040GG09 ,  5C040JA26
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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