光モジュール及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：後藤洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995212069
Publication number (International publication number)：1997061674
Application date： Aug. 21, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】接着剤やハンダ材を介在させずに光ファイバ等の光導波路体を基板に固定した光モジュールを提供する。【解決手段】光ファイバ34の端面位置決めする溝壁面を有する矩形溝38を形成し、Si基板31上のメタライズ膜41上に光ファイバ34を載置して、メタライズ膜41とメタライズ膜42とを接触させ、矩形溝38に光ファイバ34の端面の一部を接触させて、光ファイバ34の位置決めをし、加熱した状態で、ボンディングツールによって、Si基板31と光ファイバ34との一方を他方へ押圧することにより、メタライズ膜41の表面及びメタライズ膜42の表面の界面エネルギーを上昇させ、両メタライズ膜の金属原子を相互に拡散させることにより両メタライズ膜を接合し、これによりSi基板31へ光ファイバ34を固着することにより、接着剤やハンダ材を介在させずに光ファイバ34を基板に固定した光モジュールを得る。

Claim (excerpt)：

光素子と、細長い光導波路体と、前記光素子と前記光導波路体とを搭載した基板とからなる光モジュールにおいて、前記基板は、前記光導波路体を搭載した位置に第1の金属被膜を有し、前記光導波路体は、前記基板と対向する位置に第2の金属被膜を有し、前記第1及び第2の金属被膜の表面同士が接触し、両金属被膜の金属原子同士が相互に拡散することにより接合されており、これにより前記基板へ前記光導波路体が固着されていることを特徴とする光モジュール。

IPC (3)：

G02B 6/42 , H01L 31/0232 , H01L 33/00

FI (3)：

G02B 6/42 , H01L 33/00 M , H01L 31/02 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

特開昭62-294208
金属被覆された光ファイバの技法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-306756 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション

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