超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梅田勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997258254
Publication number (International publication number)：1999090362
Application date： Sep. 24, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】被洗浄物をより清浄に洗浄することができ、かつ、短時間での洗浄が可能な超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物の洗浄を、少なくとも粗洗浄と精密洗浄の2回の洗浄により行う。粗洗浄時には圧力制御を行わず、精密洗浄時には圧力の精密制御を行う。

Claim (excerpt)：

超臨界状態の洗浄溶媒(超臨界流体)に被洗浄物を接触させることで、被洗浄物の洗浄を行う超臨界流体洗浄方法において、超臨界流体の昇圧を行わない状態で、所定時間、超臨界流体と前記被洗浄物とを接触させる粗洗浄工程と、超臨界流体の昇圧を含む圧力制御を行った状態で、所定時間、超臨界流体と前記被洗浄物とを接触させる精密洗浄工程と、を少なくとも含むことを特徴とする超臨界流体洗浄方法。

IPC (3)：

B08B 3/08 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304

FI (3)：

B08B 3/08 Z , H01L 21/304 341 L , H01L 21/304 341 S

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

液化ガス内でのキャビテーションによる洗浄
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-197402 Applicant：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
超臨界流体を利用した洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-019000 Applicant：シャープ株式会社
超臨界流体を利用した洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-009442 Applicant：シャープ株式会社

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Cited by examiner (3)

液化ガス内でのキャビテーションによる洗浄
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-197402 Applicant：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
超臨界流体を利用した洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-019000 Applicant：シャープ株式会社
超臨界流体を利用した洗浄装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-009442 Applicant：シャープ株式会社

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