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J-GLOBAL ID:200903053325496756
セラミックキャピラリリブの形成方法及びこれに用いるペースト並びにブレード
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
須田 正義
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998316013
Publication number (International publication number):1999283497
Application date: Nov. 06, 1998
Publication date: Oct. 15, 1999
Summary:
【要約】【課題】 少ない工程で材料の無駄なく、簡便にかつ精度良くセラミックキャピラリリブを形成する。【解決手段】 ペーストを基板10表面に塗布してペースト膜11を形成し、ブレード12周辺の少なくとも一部に形成されたくし歯12bをペースト膜11につき刺した状態でブレード12又は基板10を一定方向に移動させ、基板表面にセラミックキャピラリリブ13を形成する。ペーストがガラス粉末又はガラス・セラミック混合粉末30〜95重量%と有機バインダ0.3〜15重量%と、溶剤と可塑剤と分散剤3〜70重量%を含み、基板上のセラミックリブは、アスペクト比が2〜10であることが好ましい。ブレードのピッチP隙間w深さh野関係は0.03mm≦h≦1.0mmでありw/P≦0.9が良く、基板表面から浮上させれば絶縁層上にリブを形成できる。
Claim (excerpt):
ペーストを基板(10)表面に塗布してペースト膜(11)を形成し、ブレード(12)周辺の少なくとも一部に形成されたくし歯(12b)を前記ペースト膜(11)につき刺した状態で前記ブレード(12)又は前記基板(10)を一定方向に移動することにより前記基板(10)表面にセラミックキャピラリリブ(13)を形成する方法。
IPC (2):
FI (2):
H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
Patent cited by the Patent:
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