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J-GLOBAL ID：200903053341273406

オゾン発生装置

Inventor： 梶 成彦 ,  中野 裕 ,  中田 錬平 ,  原田 稔 ,  新荘 良一 ,  辻村 学
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996117068
Publication number (International publication number)：1997002807
Application date： Apr. 15, 1996
Publication date： Jan. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 発生するオゾンガス中のCr化合物の量を短時間で大幅に低減できるオゾン発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】 原料ガスを供給すると共に高電圧源から高電圧を印加し、オゾンガスを発生するオゾン発生セル11及び発生したオゾンガスを送出するオゾンガス送出路を具備するオゾン発生装置10において、オゾン発生セル11以降のオゾンガス送出路の少なくともオゾンガスと接する部分には、ドライプロセスで酸化不動態皮膜処理された材料を使用する。

Claim (excerpt)：

原料ガスを供給すると共に高電圧源から高電圧を印加し、オゾンガスを発生するオゾン発生セル及び発生したオゾンガスを送出するオゾンガス送出路を具備するオゾン発生装置において、前記オゾン発生セル以降のオゾンガス送出路の少なくともオゾンガスと接する部分には、ドライプロセスで酸化不動態皮膜処理された材料を使用することを特徴とするオゾン発生装置。

IPC (2)：

C01B 13/11 ,  C23C 8/14

FI (2)：

C01B 13/11 J ,  C23C 8/14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• オゾン発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-224150   Applicant：株式会社荏原製作所, 株式会社東芝
• 特開平3-174301
  
• 特開平1-282104