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J-GLOBAL ID：200903053469438572

静電チャック

Inventor： 都丸 一彦 ,  半田 隆一 ,  米山 勉
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996062325
Publication number (International publication number)：1997260473
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 十分な放熱特性を有することにより冷却性能に優れ、かつ耐久性の高い静電チャックを提供する。【解決手段】 金属板上にセラミックスからなる第1絶縁層と、該第1絶縁層上に電極として形成された導電性パターンと、該導電性パターン上に弾性体からなる第2絶縁層が設けられてなることを特徴とする静電チャック。

Claim (excerpt)：

金属板上にセラミックスからなる第1絶縁層と、該第1絶縁層上に電極として形成された導電性パターンと、該導電性パターン上に弾性体からなる第2絶縁層が設けられてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/3065

FI (2)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-342155
  
• 静電吸着装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-174095   Applicant：日本真空技術株式会社, 日本特殊陶業株式会社