光路変換素子と、その作製方法、および光路変換素子作製用のブレード

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：谷義一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997205093
Publication number (International publication number)：1998300961
Application date： Jul. 30, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】平面型光導波路や光ファイバ型光導波路からなる光路変換素子の光導波路の所望の位置に所望の傾斜角度を有する光路変換用の傾斜端面(マイクロミラー)を、簡単に精度良く作製する方法を提供する。【解決手段】刃先に傾斜角を有するブレードを用いて、切削時に該ブレードを光導波路に対して垂直に当てて加工を行うことにより、光導波路にマイクロミラーとなる傾斜端面を形成する。

Claim (excerpt)：

所望の傾斜角を有する光路変換用の傾斜端面を具備する光導波路を有し、前記傾斜端面における反射を利用して、前記光導波路を伝搬する光の光路を変換して該光導波路の平面外に出射するか、あるいは該光導波路の平面外から入射する光の光路を変換して該光導波路へ結合する機能を有する光路変換素子であって、前記光導波路には、前記光導波路の光軸に垂直な面に対して僅かな傾斜を有する入出射面が前記傾斜端面に対向して形成され、前記入出射面と前記傾斜端面とにより前記光導波路にV状の溝が形成されていることを特徴とする光路変換素子。

IPC (3)：

G02B 6/122 , G02B 6/13 , G02B 6/12

FI (4)：

G02B 6/12 C , G02B 6/12 M , G02B 6/12 A , G02B 6/12 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭63-191111
特開平1-312514
光導波路基板の光学反射鏡とその形成法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-266475 Applicant：日本航空電子工業株式会社

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