透過電子顕微鏡の軸調整方法およびその装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001394636
Publication number (International publication number)：2003197142
Application date： Dec. 26, 2001
Publication date： Jul. 11, 2003
Summary：

【要約】【課題】透過型電子顕微鏡におけえるコマフリー軸調整法の改良。【構成】本発明で提供されるコマフリー軸調整法では、1枚のTEM像を観察し、TEM像を見ながら、入射電子の方向を調整すれば良い。例えば、一つの実施例では、透過電子が形成する透過スポットが、散乱電子による火面の中心と一致するように、入射電子の傾斜角度を調整すれば良い。本発明の原理を利用するために最低限必要な装置は、入射電子を微小に収束する装置、焦点をはずしたTEM像を形成する装置、およびTEM像を観察する装置である。

Claim (excerpt)：

試料の近傍に入射電子を収束し、電子顕微鏡像を観察する、透過電子顕微鏡において、前記電子顕微鏡像中に観察される火面の中心に、透過電子によるスポットが位置するように、前記入射電子の入射方向を調整することを特徴とする、透過電子顕微鏡の軸調整方法。

IPC (2)：

H01J 37/153 , H01J 37/04

FI (2)：

H01J 37/153 A , H01J 37/04 B

F-Term (5)：

5C030AA06 , 5C030AA07 , 5C030AB01 , 5C033HH01 , 5C033HH02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

荷電粒子線装置の開口と光軸の軸合わせ方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-012621 Applicant：株式会社ニコン
特開昭57-176658
特公平3-078738

Cited by examiner (6)

非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-010085 Applicant：日本電子株式会社
特開昭57-176658
特開昭57-176658

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