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J-GLOBAL ID:200903053641980880

水素透過合金膜及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 河備 健二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004178067
Publication number (International publication number):2006000722
Application date: Jun. 16, 2004
Publication date: Jan. 05, 2006
Summary:
【課題】水素を含む混合ガスから水素を選択的に透過・分離する性能に優れ、燃料電池用の水素ガスの精製・分離装置へ適用でき、安価で水素を多量に吸蔵しても崩壊することがない水素透過合金膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】Nb、TaおよびVの群から選ばれる少なくとも1種の5A族金属に、Cuを40〜60at%含有させて形成し、かつ膜厚が0.5〜50μmであることを特徴とする水素透過合金膜;基板上に、スパッタリング法を利用して、Nb、TaおよびVの群から選ばれる少なくとも1種の5A族金属に対して40〜60at%のCuを含有する合金膜を形成させた後、基板から合金膜を剥離することを特徴とする水素透過合金膜の製造方法などによって提供する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
Nb、TaおよびVの群から選ばれる少なくとも1種の5A族金属に、Cuを40〜60at%含有させて形成し、かつ膜厚が0.5〜50μmであることを特徴とする水素透過合金膜。
IPC (3):
B01D 71/02 ,  C22C 9/00 ,  C22C 27/02
FI (5):
B01D71/02 500 ,  C22C9/00 ,  C22C27/02 101Z ,  C22C27/02 102Z ,  C22C27/02 103
F-Term (18):
4D006GA41 ,  4D006MA07 ,  4D006MA09 ,  4D006MA10 ,  4D006MA31 ,  4D006MB06 ,  4D006MC02X ,  4D006NA32 ,  4D006NA46 ,  4D006PA02 ,  4D006PB18 ,  4D006PB66 ,  4D006PC80 ,  4G140FA04 ,  4G140FC01 ,  4G140FE01 ,  5H027AA02 ,  5H027BA16
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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