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J-GLOBAL ID：200903053813441006
プロセス異常分析装置およびプロセス異常分析方法並びにプログラム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松井 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006251247
Publication number (International publication number)：2008071270
Application date： Sep. 15, 2006
Publication date： Mar. 27, 2008
Summary：
【課題】 ラビング装置等において、より適切なプロセス特徴量を算出し、最適なラビング状態を得られるモデルを得て、そのモデルに基づいてリアルタイムに異常分析するプロセス異常分析装置を提供すること【解決手段】 ラビング装置から得られた時系列のプロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶部21と、プロセスデータ記憶部に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集部22と、プロセス特徴量からラビング装置の異常検出を行なうための異常分析ルールを記憶する異常分析ルールデータ記憶部26と、異常分析ルールにより、プロセス特徴量からラビング装置の異常の有無を判定する異常判定部24と、を備える。プロセスデータ編集部は、周波数成分を含む時系列データからなるプロセスデータに対し、ウェーブレット変換を行ない前記プロセス特徴量を抽出する機能を含むようにした。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
1または複数の製造装置からなる製造システムにおいて、プロセス実行時に得られるプロセスデータに基づいてプロセスの異常を単位対象品毎に検出するプロセス異常分析装置であって、
前記時系列のプロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶手段と、
そのプロセスデータ記憶手段に格納されたプロセスデータからプロセス特徴量を抽出するプロセスデータ編集手段と、
プロセス特徴量を用いて前記製造システムで製造される製品並びに前記製造装置の異常検出を行なうための異常分析ルールを記憶する異常分析ルールデータ記憶手段と、
前記異常分析ルールにより、前記プロセス特徴量から前記製品並びに前記製造装置の異常の有無を判定する異常判定手段と、
を備え、
プロセスデータ編集手段は、周波数成分を含む時系列データからなるプロセスデータに対し、ウェーブレット変換を行ない前記プロセス特徴量を抽出する機能を含むことを特徴とするプロセス異常分析装置。
IPC (2)：
FI (4)：
G05B23/02 302R
, H01L21/02 Z
, G05B23/02 301X
, G05B23/02 V
5H223AA05
, 5H223BB01
, 5H223DD03
, 5H223EE30
