Pat
J-GLOBAL ID：200903054057086813

基板取扱い装置

Inventor：
中島 満徳

About 中島 満徳


Applicant, Patent owner：
三機産業設備株式会社

About 三機産業設備株式会社


Agent (1)： 山田 恒光 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000387375
Publication number (International publication number)：2002187617
Application date： Dec. 20, 2000
Publication date： Jul. 02, 2002
Summary：
【要約】【課題】 基板を基板加工ラインに供給し或は基板加工ラインから取り出す際に、多くの人手を必要とすることがないようにする。【解決手段】 入側にセットされた台車2に搭載されている基板3を取り込み基板加工ラインに供給するためのローダ1と、基板加工ラインから取り出された基板3を出側にセットされた台車2に送り出すためのアンローダ5とを備える。
Claim (excerpt)：
入側にセットされた台車(2)に板幅方向が基板取り込み方向(D1)に対し直交するよう並列配置されている基板(3)を取り込んで搬送装置(62)を介し基板加工ライン(4)に水平状態で供給するためのローダ(1)と、基板加工ライン(4)から搬送装置(130)を介し水平状態で取り出された基板(3)を出側にセットされた台車(2)に板幅方向が基板送出し方向(D4)と直交する方向へ向けて並列状態となるよう送り出すためのアンローダ(5)とを備えたことを特徴とする基板取扱い装置。
IPC (2)：
B65G 49/06 ,  H01L 21/68
FI (2)：
B65G 49/06 Z ,  H01L 21/68 A
F-Term (5)：
5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031GA24 ,  5F031GA53 ,  5F031GA58
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-003427   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
  • パネルの整列機構
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-239205   Applicant：日本電気エンジニアリング株式会社

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM