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J-GLOBAL ID：200903054140393760
照明光学系及びそれを用いた露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996355390
Publication number (International publication number)：1998189431
Application date： Dec. 20, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：
【要約】【課題】 被照射面上において、第1 方向又は第1 方向とこれに直交する第2 方向の両方向の照度分布を効率よく台形形状にする照明光学系及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 光源からの光束をインテグレータに入射させ、該インテグレータを構成する複数の素子レンズからの光束をコンデンサーレンズを介してケーラー照明により被照射面に照射する照明光学系において、該素子レンズを該被照射面上での照射面積が夫々異なる複数種類によって構成している。
Claim (excerpt)：
光源からの光束をインテグレータに入射させ、該インテグレータを構成する複数の素子レンズからの光束をコンデンサーレンズを介してケーラー照明により被照射面に照射する照明光学系において、該素子レンズを該被照射面上での照射面積が夫々異なる複数種類によって構成していることを特徴とする照明光学系。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G02B 19/00
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 B
, G02B 19/00
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
