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J-GLOBAL ID：200903054142195770

カンチレバーホルダーおよびこれを用いた走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 山本 ▲琢▼磨 ,  鈴木 美彦 ,  中桐 伸行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996262804
Publication number (International publication number)：1998111301
Application date： Oct. 03, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】カンチレバーホルダーにおける浮遊容量を低減し、しかも、カンチレバーと計測回路との電気的な接続を容易に行うことのできるカンチレバーホルダーを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】金属パターン202、203を有するカンチレバー1と、カンチレバー1を保持するためのカンチレバーホルダー2と、試料を保持する試料ホルダーと、試料とカンチレバーとを間隔を一定に保つための間隔保持手段と、カンチレバーの金属パターンの電気信号を処理する電気回路とを有する。カンチレバーホルダー2は、基板21上に、パット部23と、接続端子部24とを備える。ボンディング等により、パット部23をカンチレバー1の配線パターン203に接続するとともに、接続端子部24を外部の電気回路に接続する。このような構成により、試料とカンチレバーホルダーとの間の浮遊容量を減少させることができるとともに、電気的接続も容易になる。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板に搭載された金属パターンとを有し、前記金属パターンは、カンチレバーと電気的に接続するためのパット部と、外部の電気回路と接続するための接続端子部とを備えることを特徴とするカンチレバーホルダー。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2)：

G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 複合顕微鏡の導電性カンチレバ-とホルダ-
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-230487   Applicant：日新電機株式会社
• 力顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-228855   Applicant：日立建機株式会社