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J-GLOBAL ID:200903054200066624

固体撮像素子及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松隈 秀盛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999317106
Publication number (International publication number):2000232217
Application date: Nov. 08, 1999
Publication date: Aug. 22, 2000
Summary:
【要約】【課題】 3層の転送電極で4相駆動の全画素読み出し方式等に適用される固体撮像素子において、転送電極の加工ばらつきにかかわらず2相分の各転送領域の蓄積電荷容量の均一化、受光部面積の増大化等を図る。【解決手段】 マトリックス状に配列された複数の受光部22と、各受光部列に対応して3層の転送電極28〔28A〜28D〕で4相駆動の垂直転送レジスタ23を備え、第1層目の転送電極28A,28Cが電荷転送方向aに沿って1つ置きに配列され、受光部22間で第1層目の転送電極28A,28Cが並列して形成されて成る。
Claim (excerpt):
マトリックス状に配列された複数の受光部と、該各受光部列に対応して3層の転送電極で4相駆動する垂直転送レジスタを備え、第1層目の前記転送電極が電荷転送方向に沿って1つ置きに配列されて成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2):
H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3):
H01L 27/14 B ,  H04N 5/335 F ,  H04N 5/335 U
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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