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J-GLOBAL ID：200903054252279642

検査方法、検査システムおよび電子デバイスの製造方法

Inventor： 池田 洋子 ,  小西 潤子 ,  岩田 尚史 ,  高木 裕治 ,  小原 健二 ,  中垣 亮 ,  磯貝 静志 ,  小沢 康彦
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998341991
Publication number (International publication number)：2000162135
Application date： Dec. 01, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】本発明の目的は、ユーザインターフェースの改善によって、解析時間の短縮および解析精度を向上することにある。【解決手段】本発明は、上記目的を達成するために、ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたものである。

Claim (excerpt)：

ワークにおける複数個の画像を撮影する撮像装置と、該撮像装置が撮像した撮像画像を記憶する記憶手段と、該記憶手段が記憶した複数個の撮像画像を表示する第一のエリアと該撮像画像の特徴に応じて分類する複数個の第二のエリアとを有する表示手段とを有し、該複数個の撮像画像を該第一のエリアから該当する該第二のエリアへ画面上で移動させて該複数個の撮像画像を該第二のエリアに分類できるように構成した解析ユニットを備えたこと特徴とする検査システム。

IPC (3)：

G01N 21/84 ,  G06F 3/00 651 ,  G06T 7/00

FI (3)：

G01N 21/84 Z ,  G06F 3/00 651 A ,  G06F 15/62 400

F-Term (19)：

2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051EA14 ,  2G051ED12 ,  2G051ED21 ,  5B057BA23 ,  5B057CD02 ,  5B057CH11 ,  5B057DA12 ,  5E501AA02 ,  5E501AC02 ,  5E501AC37 ,  5E501BA01 ,  5E501BA20 ,  5E501CB09 ,  5E501EA08 ,  5E501EA13 ,  5E501EB20 ,  5E501FA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 欠陥検出用顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-016218   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 画像処理装置及び画像処理方法並びに記憶媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-036366   Applicant：キヤノン株式会社