欠陥検出用顕微鏡装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995016218
Publication number (International publication number)：1996210987
Application date： Feb. 02, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】欠陥検出装置により見付けられた欠陥を短時間に拡大観察、判断を行うことにある。【構成】レボルバ2に対物レンズ3がセットされた顕微鏡本体1の光学軸に対して直交する方向に電動ステージ4を移動可能に設け、この電動ステージ4を光学軸方向に対物レンズ3と共にオートフォーカス駆動部5により移動してピントを合せ、顕微鏡本体1の光学系を介して得られる被観察対象物11の光像をTVカメラ9により撮像してTVモニタ9に表示するようにした欠陥検出用顕微鏡装置において、TVカメラ9から得られる画像情報を用いて周囲と異なる欠陥を検出し、この欠陥を観察視野内の中心に移動させ、その欠陥の大きさ情報からこの欠陥を観察するに適切な大きさに拡大する機能及びTVカメラ9より取込んだ画像情報を蓄積する画像蓄積機能を有する制御用コンピュータ14とを備える。

Claim (excerpt)：

倍率の異なる複数の対物レンズを有するレボルバを備えた顕微鏡本体と、この顕微鏡本体の光学軸に対して直交する方向に移動可能に設けられた電動ステージと、この電動ステージを光学軸方向に前記対物レンズと共に相対的に移動するオートフォーカス手段と、前記レボルバ、電動ステージ及びオートフォーカス手段を駆動する駆動手段と、前記顕微鏡本体の光学系を介して得られる被観察対象物の光像を撮像する撮像手段とを備えた欠陥検出用顕微鏡装置において、前記撮像手段から得られる画像情報を用いて周囲と異なる欠陥を検出する欠陥検出手段と、この欠陥検出手段により検出された欠陥を観察視野内の中心に移動させ、その欠陥の大きさ情報からこの欠陥を観察するに適切な大きさに拡大する機能を有する制御手段とを備えたことを特徴とする欠陥検出用顕微鏡装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 , G02B 21/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平3-296011
異物観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-027797 Applicant：株式会社日立製作所
画像伝送方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-270770 Applicant：株式会社ニコン

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Cited by examiner (8)

特開平3-296011
特開平4-061356
異物観察装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-027797 Applicant：株式会社日立製作所

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