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J-GLOBAL ID：200903054404716334

フッ素ゴム成形体及びその製造方法

Inventor： 九澤 直也 ,  中野 光行 ,  小倉 仁志 ,  斉藤 正幸
Applicant, Patent owner： ニチアス株式会社 ,  旭硝子株式会社
Agent (5)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003053494
Publication number (International publication number)：2004263038
Application date： Feb. 28, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：

【課題】純粋性、低溶出金属、低放出ガス、耐プラズマ性、耐オゾン性、耐薬品性、耐熱性等に優れ、十分な機械的強度を兼備し、特に半導体製造装置や半導体搬送装置に使用されるゴム材料に好適なフッ素ゴム成形体を提供する。【解決手段】金属元素含有量が1.5重量%以下であるテトラフロロエチレン-プロピレン系共重合体からなる原料ゴムと、トリアリルイソシアヌレートのプレポリマーとを含有し、電離性放射線架橋されていることを特徴とするフッ素ゴム成形体。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

金属元素含有量が1.5重量%以下であるテトラフロロエチレン-プロピレン系共重合体からなる原料ゴムと、トリアリルイソシアヌレートのプレポリマーとを含有し、電離性放射線架橋されていることを特徴とするフッ素ゴム成形体。

IPC (4)：

C08L27/18 ,  C08J3/28 ,  C08K5/3492 ,  H01L21/3065

FI (4)：

C08L27/18 ,  C08J3/28 ,  C08K5/3492 ,  H01L21/302 101G

F-Term (15)：

4F070AA23 ,  4F070AC48 ,  4F070AE08 ,  4F070HA03 ,  4F070HB01 ,  4J002BB141 ,  4J002BD151 ,  4J002EU196 ,  4J002FD146 ,  4J002GQ00 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004BC01 ,  5F004BC03 ,  5F004BD01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 架橋可能な含フッ素樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-071990   Applicant：旭硝子株式会社
• 特開昭61-016911
  
• 含フッ素エラストマー組成物、その架橋体、並びにその用途
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-295773   Applicant：日本バルカー工業株式会社
• 電離性放射線照射ゴム成形体およびその製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-283391   Applicant：ダイキン工業株式会社
• フッ素ゴム組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-285453   Applicant：旭硝子株式会社
• 特開平2-209928
  
• 真空用フッ素ゴム並びにその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-256534   Applicant：日本バルカー工業株式会社, 日本真空技術株式会社