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J-GLOBAL ID：200903054567481814

検査装置及び検査方法

Inventor：
岡本 恵

About 岡本 恵

, 
室岡 孝

About 室岡 孝


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (4)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005067901
Publication number (International publication number)：2006250721
Application date： Mar. 10, 2005
Publication date： Sep. 21, 2006
Summary：
【課題】 透明な平板状製品の欠陥を容易に検査する。【解決手段】 検査対象の平板状透明製品15を挟んで配置される一対の偏光子1,2と、偏光子1,2の一方1を通して検査対象15を照明する照明光源4と、一方の偏光子1と検査対象15との間に配置される位相子3と、照明光源4から照明光が照射され一対の偏光子の他方の偏光子2から出射する透過光を検出する検出手段8と、検出手段8が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が増大する方向に偏光子1の光学軸の角度θ1と位相子3の光学軸の角度θ2とを独立に制御する演算手段10とを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
検査対象の平板状透明製品を挟んで配置される一対の偏光子と、該偏光子の一方を通して前記検査対象を照明する照明光源と、前記一方の偏光子と前記検査対象との間に配置される位相子と、前記照明光源から照明光が照射され前記一対の偏光子の他方の偏光子から出射する透過光を検出する検出手段と、該検出手段が検出した透過光データから評価値を算出し該評価値が所定の方向に向かう様に前記一方の偏光子の光学軸の角度と前記位相子の光学軸の角度とを独立に制御する演算手段とを備えることを特徴とする検査装置。
IPC (2)：
G01N 21/958 ,  G01M 11/00
FI (2)：
G01N21/958 ,  G01M11/00 T
F-Term (12)：
2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051BA08 ,  2G051BA11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB05 ,  2G086EE09 ,  2G086EE10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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