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J-GLOBAL ID：200903054628188902

精製アルコキシド及びアルコキシドの精製方法

Inventor： 高松 勇吉 ,  米山 岳夫 ,  石濱 義康
Applicant, Patent owner： 日本パイオニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999069583
Publication number (International publication number)：1999335310
Application date： Mar. 16, 1999
Publication date： Dec. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造プロセスに使用される液体CVD材料において、高品質の絶縁膜の製造が可能な精製アルコキシド及びアルコキシドの精製方法を開発する。【解決手段】 粗アルコキシドを蒸留した後、蒸留アルコキシドの液中に不活性ガスを通気するとともに超音波振動を与えてストリッピングを行ない、アルコキシド中に溶存するハロゲン、ハロゲン化水素、酸素、二酸化炭素等の揮発性不純物を除去する。

Claim (excerpt)：

残留酸素濃度が0.15ppm以下であることを特徴とする精製アルコキシド。

IPC (11)：

C07C 29/80 ,  C07C 29/76 ,  C07C 31/28 ,  C07C 31/32 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/316 ,  C07F 7/04 ,  C07F 7/28 ,  C07F 9/00 ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/44

FI (11)：

C07C 29/80 ,  C07C 29/76 ,  C07C 31/28 ,  C07C 31/32 ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/316 X ,  C07F 7/04 K ,  C07F 7/28 B ,  C07F 9/00 Z ,  C23C 16/18 ,  C23C 16/44 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• アルコキシシランにおける酸性ハライド中和
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-093846   Applicant：ユニオン・カーバイド・ケミカルズ・アンド・プラスチツクス・テクノロジー・コーポレーシヨン
• 金属アルコキシドの精製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-231397   Applicant：大陽東洋酸素株式会社
• 金属アルコキシドの精製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-214348   Applicant：和光純薬工業株式会社
• タンタルアルコキシドの精製方法、及び高純度タンタルアルコキシド並びにこれを用いた気相成長法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-334468   Applicant：株式会社ジャパンエナジー
• 特開平3-246239
  
• タンタルアルコキシドの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-306602   Applicant：昭和電工株式会社