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J-GLOBAL ID：200903054982213531

圧電素子とその製造方法

Inventor：
水本 勝也

About 水本 勝也

, 
結城 宏元

About 結城 宏元


Applicant, Patent owner：
リバーエレテック株式会社

About リバーエレテック株式会社


Agent (1)： 浅川 哲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000130742
Publication number (International publication number)：2001313537
Application date： Apr. 28, 2000
Publication date： Nov. 09, 2001
Summary：
【要約】【課題】 化学的エッチング方法では打ち抜き等の加工が困難とされていた水晶の結晶方位を有するLQ2Tカット水晶基板に対して、短時間に精度よく所定形状に加工することにより、安定したラーメモード振動を実現する圧電素子及びこの圧電素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 X軸(電気軸)、Y軸(機械軸)、Z軸(光軸)からなる三次元の結晶軸11を有する水晶原石10に対して、前記X軸を中心にY軸をZ軸に向けて36°〜42°の範囲内のLQ2Tカット角15で傾斜させたY’軸からなるXY’平面で切り出された水晶基板14に対して、パウダービームでラーメモード振動を行う形状に打ち抜き加工した。
Claim (excerpt)：
LQ2Tカット水晶基板からパウダービームによって打ち抜かれた四角形状の振動片が、この振動片と一体に打ち抜かれた支持片に前記振動片の隅から延びる幅狭の支持脚によって支持され、この振動片の四隅が振動の節点となってラーメモード振動することを特徴とする圧電素子。
IPC (2)：
H03H 9/19 ,  H03H 3/02
FI (2)：
H03H 9/19 B ,  H03H 3/02 B
F-Term (9)：
5J108BB02 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108CC08 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108DD09 ,  5J108KK01 ,  5J108MM11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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