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J-GLOBAL ID：200903055035261677

チップイントレイ検査用プレート

Inventor：
板倉 葉

About 板倉 葉


Applicant, Patent owner：
株式会社トプコン

About 株式会社トプコン


Agent (1)： 田辺 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002350946
Publication number (International publication number)：2004186373
Application date： Dec. 03, 2002
Publication date： Jul. 02, 2004
Summary：
【課題】複数のトレイを効率よく位置決めして保持することが出来るチップイントレイ検査用プレートを提供する。【解決手段】プレート本体(1、31)と、プレート本体(1、31)に取り付けられた複数の機械式保持機構(11、41)とを有し、各保持機構(11、41)が半導体チップ用トレイ(9、39)を脱着自在に保持する構成になっていることを特徴とするチップイントレイ検査用プレート。各保持機構(11、41)が、トレイ(9、39)の一方の隅部(19a)に推力を付与するための推力付与手段(14、44)と、その一方の隅部(19a)に対して対角方向に位置する他方の隅部(19b)を支持するための支持部材(4、34)を有する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
プレート本体(1、31)と、プレート本体(1、31)に取り付けられた複数の機械式保持機構(11、41)とを有し、各保持機構(11、41)が半導体チップ用トレイ(9、39)を脱着自在に保持する構成になっていることを特徴とするチップイントレイ検査用プレート。
IPC (3)：
H01L21/68 ,  G01N21/84 ,  H01L21/66
FI (4)：
H01L21/68 U ,  H01L21/68 G ,  G01N21/84 C ,  H01L21/66 J
F-Term (16)：
2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051DA20 ,  4M106AA02 ,  4M106AA04 ,  4M106BA04 ,  4M106CA41 ,  4M106DB30 ,  5F031CA13 ,  5F031DA05 ,  5F031HA27 ,  5F031HA30 ,  5F031KA02 ,  5F031MA33
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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